EUV露光での量産が迫る!
ArF液浸でのマルチパターニングと比べると、出来が違う! 此れはとても期待できる!!
かなりスバラシイ物が世に出てくるのではないか?!
高価な機材の償却が済むまでは、お高いのでしょうが・・・・